[특징]
● 반도체 제조 장치에 있어서의 반송·퍼지용 N2·에어의 여과·약액의 가압 압송 라인 가스의 여과에 적합합니다.
[사양]
● 재질 : 필터/PTFE(불소수지), 서포트·하우징/PFA(GT-플러스)·GTL(폴리술폰)
● 최대 허용 압력 : 0.41MPa
● 최대 허용정차압 : GT-플러스/0.34 MPa, GTL/0.41MPa
● 최대 허용역차압 : 0.034MPa
● 막면적 : GT-플러스/12㎠, GTL/25㎠
● 최고 사용 온도 : GT-플러스/60℃, GTL/50℃
● 추천 유량(ℓ/min) : G01KP03·G21KP3/30, G01DS0·G01DSH/80
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