※오존이 포함되는 약액은 사용할 수 없습니다.
[특징]
●접액부로부터의 금속 이온의 용출이 없고, 여러가지 약품의 온도 제어가 가능합니다.
●peltier device에 의한 전자 냉열 방식이므로 고정밀도입니다.
●전원 제어 유니트에 외부 센서(별매)를 접속해 온도 제어하는 모드(cascade 모드)도 선택할 수 있습니다.
[사양]
● 순환 방식:개방계 순환
[■사용 가능 약액]
●반도체 제조:RCA 세정액·에칭액·리소그래피 공정의 현상액
●그 외 분야:도금액·각종 표면 처리액
[while at work]
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CIRCULATOR LOW TEMP, 케미컬 써큘레이터(개방계) 
