 | 웨이퍼의 CVD 테스트에! |
[특징]
● 면상 에칭 히터에 의해 온도 분포 정도가 뛰어납니다.
● 고성능 PID 제어에 의해 플레이트 표면은 고정밀도로 컨트롤 됩니다.
● 온도상승 속도는 200℃ 6분 , 300℃ 15분 , 400℃ 35분입니다. (HHP-411 V 주위 온도 25℃시).
● 3 패턴의 타이머 설정이 가능합니다.
● 2단 표시로 설정 온도와 현재 온도를 한눈에 볼 수 있습니다.
[사양]
● 설정 온도 : 40~400℃
● 온도 분포 정도 : ±1℃
● 온도센서 : K열전대
● 천판 재질 : 알루미늄(표면 황산 알마이트 처리)
● 기타 사양은 첨부파일을 참조하시기 바랍미다.
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SHAMAL HOTPLATES, 샤말핫플레이트(SLIM) 
